一、純水之定(ding)義

　　DI=Deionized?,?DI?Water?=?Deionized?Water，為(wei)去離子之(zhi)意，亦即通稱之(zhi)純(chun)水(PURE?WATER)，近來由于半導體(ti)制程(cheng)對(dui)(dui)設計規則之(zhi)需(xu)求朝更精密更細小的趨(qu)(qu)勢(shi)發展(zhan)，因而對(dui)(dui)純(chun)水水質的要求也越趨(qu)(qu)嚴(yan)格(ge)，在(zai)此(ci)嚴(yan)格(ge)水質要求下所制造出(chu)來稱之(zhi)純(chun)水(Ultra-pure?water)。

　　其狹義之(zhi)意：為(wei)去離子(zi)之(zhi)水，將水中(zhong)之(zhi)離子(zi)(如(ru)Na+、Ca2+、Mg2+、Al3+、C1-、F-、SO42-、NO3-、etc.)?予以去除，降(jiang)低其離子(zi)濃度(du)，提水之(zhi)電阻值(zhi)(Ω·cm)。

　　其廣義之(zhi)(zhi)意(yi)：為除(chu)了(le)除(chu)去(qu)水(shui)中離子之(zhi)(zhi)外(wai)，亦將水(shui)中之(zhi)(zhi)SiO2，顆粒物(wu)，細菌(jun)，有(you)機物(wu)，微生(sheng)物(wu)一并給予有(you)限(xian)度(du)的去(qu)除(chu)，使水(shui)達到完純(chun)凈(jing)的程度(du)，而用于(yu)電(dian)子工業之(zhi)(zhi)上。

　　二、18MΩ·cm純水制(zhi)備工藝(yi)

　　自來水(shui)(shui)進(jin)入原水(shui)(shui)箱，通(tong)過(guo)原水(shui)(shui)泵增壓，經(jing)(jing)(jing)砂濾(lv)器(qi)(qi)、炭濾(lv)器(qi)(qi)、阻垢劑(ji)加藥、保安過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)，到(dao)達反(fan)滲透單元，經(jing)(jing)(jing)兩級反(fan)滲透過(guo)濾(lv)進(jin)入EDI單元，達到(dao)電阻率15MΩ·cm(25℃)進(jin)入純(chun)水(shui)(shui)水(shui)(shui)箱。純(chun)水(shui)(shui)供(gong)水(shui)(shui)設計為(wei)循環方式(shi)，經(jing)(jing)(jing)純(chun)水(shui)(shui)供(gong)水(shui)(shui)泵增壓，通(tong)過(guo)紫外線消毒器(qi)(qi)、拋光混床Tulsimer? MB 106 UP、0.22微(wei)米過(guo)濾(lv)器(qi)(qi)接入純(chun)水(shui)(shui)供(gong)水(shui)(shui)管，到(dao)達使用點。

　　2.1 預(yu)處理單元(yuan)

　　采用(yong)石英(ying)砂過濾(lv)、活性(xing)炭過濾(lv)、保(bao)安過濾(lv)作為兩級反滲透的預(yu)處理。

　　2.2 反(fan)滲透(tou)模塊單元

　　反滲(shen)透膜是(shi)以壓力差(cha)為驅(qu)動力的(de)(de)液相膜分(fen)離方法(fa)，可以看作是(shi)滲(shen)透的(de)(de)一種反向作用(yong)。在壓力推動下，溶液中(zhong)的(de)(de)水分(fen)子透過膜，而其它分(fen)子、離子、細菌、病(bing)毒等(deng)被截留，從(cong)而實(shi)現脫鹽效果(guo)，達(da)到純化目的(de)(de)。

　　整個反滲(shen)透系統由壓(ya)泵、反滲(shen)透膜、壓(ya)力容器以及(ji)相應的儀器、儀表、閥門、機(ji)架、管道及(ji)管件等組成;此外還有獨立的化學清洗裝(zhuang)置。

　　2.3 EDI模塊(kuai)單(dan)元

　　EDI技術是將膜法(fa)和(he)離子(zi)(zi)(zi)交(jiao)換(huan)法(fa)結合(he)起來(lai)的(de)(de)新工藝，基本原理主要包括離子(zi)(zi)(zi)交(jiao)換(huan)、直(zhi)流電場(chang)下離子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)選擇性遷移(yi)及(ji)樹(shu)脂(zhi)的(de)(de)電再(zai)(zai)生(sheng)。水中的(de)(de)離子(zi)(zi)(zi)首先通(tong)(tong)過交(jiao)換(huan)作(zuo)用吸附于樹(shu)脂(zhi)顆(ke)粒上，再(zai)(zai)在電場(chang)作(zuo)用下經由(you)樹(shu)脂(zhi)顆(ke)粒構(gou)成的(de)(de)“離子(zi)(zi)(zi)傳輸通(tong)(tong)道(dao)”遷移(yi)到膜表面并透(tou)過離子(zi)(zi)(zi)交(jiao)換(huan)膜進入濃室。由(you)于離子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)交(jiao)換(huan)、遷移(yi)及(ji)離子(zi)(zi)(zi)交(jiao)換(huan)樹(shu)脂(zhi)的(de)(de)電再(zai)(zai)生(sheng)相伴發生(sheng)，猶如邊工作(zuo)邊再(zai)(zai)生(sheng)的(de)(de)混床離子(zi)(zi)(zi)交(jiao)換(huan)樹(shu)脂(zhi)柱，因此可以(yi)連續不斷地制(zhi)取質量(liang)的(de)(de)純水、純水。

　　EDI系(xi)統由(you)增壓(ya)泵、膜堆、電源以及相應的(de)儀器、儀表、閥門、機架、管道(dao)等組成。

　　2.4 拋(pao)光混(hun)床(chuang)模塊單元

　　純水(shui)終(zhong)端(duan)混(hun)床(chuang)樹(shu)脂是在(zai)其嚴(yan)格的工(gong)(gong)(gong)藝(yi)控制(zhi)(zhi)條件下制(zhi)(zhi)成的，樹(shu)脂經(jing)過特(te)別的處(chu)理(li)，再(zai)(zai)生轉型已接(jie)近限化(hua)，故具有(you)的再(zai)(zai)生效(xiao)率和低的雜質含量，并具有(you)強(qiang)的交換能力(li)和很的機械強(qiang)度(du)。 純水(shui)終(zhong)端(duan)混(hun)床(chuang)樹(shu)脂無(wu)需再(zai)(zai)生，就可廣泛應用于電子工(gong)(gong)(gong)業純水(shui)制(zhi)(zhi)備;實驗室(shi)純水(shui);效(xiao)液相(xiang)色譜用純水(shui);含放射物(wu)處(chu)理(li);藥品;半(ban)導體(ti)行業;凝(ning)結(jie)水(shui)以及其它各種水(shui)處(chu)理(li)工(gong)(gong)(gong)藝(yi)的終(zhong)端(duan)混(hun)床(chuang)精處(chu)理(li)。的混(hun)床(chuang)樹(shu)脂可確保出(chu)水(shui)水(shui)質達到穩定，產水(shui)水(shui)質16~18.2MΩ，生產質量的純無(wu)硅純水(shui)。

　　2.5 供水單元(yuan)

　　純水供(gong)水循環采用254nm紫外線殺菌、拋光混床脫鹽、0.22微米(mi)過濾，達(da)到(dao)用戶(hu)的純水水質(zhi)要求。

　　為保證純水(shui)的(de)以及生物(wu)學指標，在純水(shui)制(zhi)備(bei)的(de)終(zhong)端(duan)設(she)置精度為0.22μm的(de)微(wei)濾(lv)(lv)(lv)(lv)膜(mo)過(guo)(guo)濾(lv)(lv)(lv)(lv)器，用(yong)于(yu)截留去除脫鹽設(she)備(bei)出(chu)水(shui)中的(de)微(wei)粒(li)以及細菌尸體(ti)。由于(yu)0.22μm的(de)微(wei)濾(lv)(lv)(lv)(lv)膜(mo)膜(mo)過(guo)(guo)濾(lv)(lv)(lv)(lv)器為整個脫鹽工藝的(de)后(hou)一道處(chu)理設(she)備(bei)，因此又稱終(zhong)端(duan)過(guo)(guo)濾(lv)(lv)(lv)(lv)器。過(guo)(guo)濾(lv)(lv)(lv)(lv)器內裝(zhuang)折疊(die)式微(wei)孔濾(lv)(lv)(lv)(lv)膜(mo)，過(guo)(guo)濾(lv)(lv)(lv)(lv)精度0.22μm，過(guo)(guo)濾(lv)(lv)(lv)(lv)器出(chu)口設(she)置壓力表(biao)。過(guo)(guo)濾(lv)(lv)(lv)(lv)器經過(guo)(guo)一段時間的(de)運行后(hou)，濾(lv)(lv)(lv)(lv)膜(mo)表(biao)面截留了(le)大(da)量雜質，使(shi)濾(lv)(lv)(lv)(lv)膜(mo)堵塞，導致工作壓力增(zeng)加，當進出(chu)口壓力差增(zeng)大(da)到某一設(she)定(ding)值時，更(geng)換濾(lv)(lv)(lv)(lv)膜(mo)。

　　終端過(guo)濾(lv)器由罐(guan)體、0.22μm濾(lv)芯、壓力表組(zu)成(cheng)。

　　適用(yong)于生產(chan)半導(dao)體(ti)集成電(dian)(dian)路(lu)、顯示器、硬盤(pan)、CD﹣ROM等用(yong)水。在進水得(de)到充分(fen)的處理及合理的混床設計情況下(xia)，Tulsimer? MB 106 UP的出水電(dian)(dian)阻率能(neng)達到>18.25MΩ。