蘇州萬科環境工程制(zhi)備超純(chun)水項目

EDI出水+拋光樹(shu)脂

陰陽離子吸(xi)附制備超純水

超純水(shui)通常指的是(shi)電阻(zu)率能夠達到18 MΩ*cm的水(shui)，是(shi)既(ji)將水(shui)中的導電介(jie)質幾乎完全(quan)去除(chu)，又將水(shui)中不離解的膠體(ti)物質、氣體(ti)及有機物均去除(chu)至很低程度(du)的水(shui)。

起初是美(mei)國科技(ji)界為研制(zhi)超純材(cai)料(半導體原(yuan)件(jian)材(cai)料、納米精細(xi)陶瓷材(cai)料等(deng))應用(yong)蒸餾、去離子化(hua)、反滲(shen)透技(ji)術或其它適當的超臨界精細(xi)技(ji)術生(sheng)產出(chu)來的水，如今已(yi)廣泛應用(yong)在生(sheng)物、醫(yi)藥、汽車等(deng)領(ling)域。

半導體行業中的超純水，又名UP水，主要是半(ban)導體原(yuan)材料生產(chan)加(jia)工(gong)、檢(jian)測(ce)和半(ban)導體器件(jian)的制備用(yong)(yong)水(shui)。電(dian)子元(yuan)器件(jian)對超(chao)純(chun)水(shui)使用(yong)(yong)水(shui)質(zhi)(zhi)要求(qiu)高。市場(chang)環境變化使得元(yuan)器件(jian)尺寸縮小與精細度(du)上升，使得超(chao)純(chun)水(shui)水(shui)質(zhi)(zhi)與水(shui)量的技術指標不(bu)斷提(ti)升。

超純水制備主要包括(kuo)以(yi)下三(san)個階(jie)(jie)段，即初步吸附過濾階(jie)(jie)段、反滲透凈(jing)化階(jie)(jie)段和(he)樹脂離子(zi)交(jiao)換(huan)階(jie)(jie)段。

其中，離(li)(li)(li)(li)子(zi)交(jiao)換(huan)即是將水中的(de)(de)正離(li)(li)(li)(li)子(zi)與離(li)(li)(li)(li)子(zi)交(jiao)換(huan)樹脂中的(de)(de)H+離(li)(li)(li)(li)子(zi)交(jiao)換(huan)，水中的(de)(de)負離(li)(li)(li)(li)子(zi)與離(li)(li)(li)(li)子(zi)交(jiao)換(huan)樹脂中的(de)(de)OH-離(li)(li)(li)(li)子(zi)交(jiao)換(huan)，從而(er)達(da)到純化水的(de)(de)目的(de)(de)。具體說(shuo)來主(zhu)要有以下步驟：

1、原(yuan)水(shui)(shui)：可(ke)用(yong)自來水(shui)(shui)或普通蒸餾水(shui)(shui)或普通去離子水(shui)(shui)作原(yuan)水(shui)(shui)。

　　2、預處理系(xi)(xi)統(tong)：原(yuan)水箱、原(yuan)水泵、殺菌劑(ji)、石英砂過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)、活(huo)性(xing)炭過(guo)濾(lv)(lv)器(qi)、換熱器(qi)、阻垢劑(ji)系(xi)(xi)統(tong)。

　　3、雙級反(fan)(fan)滲(shen)(shen)透系統(tong)：保安過濾器、高壓泵RO、反(fan)(fan)滲(shen)(shen)透系統(tong)。反(fan)(fan)滲(shen)(shen)透膜可(ke)濾除(chu)95%以上的電解質(zhi)和(he)大(da)分子化合物，包括膠體微粒(li)和(he)病毒等。由于絕大(da)多數離(li)子的去除(chu)，使離(li)子交換柱的使用壽命大(da)大(da)延長。

　　4、EDI系統：EDI的(de)(de)作用就是通過除去電(dian)解質（包括弱(ruo)電(dian)解質）的(de)(de)過程，將水的(de)(de)電(dian)阻率從(cong)0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

　　5、拋光樹脂(zhi)：無化學析出(chu)的核子(zi)級樹脂(zhi)，去除純水中殘余的微量帶電(dian)離(li)子(zi)及弱電(dian)解質(zhi)，使水質(zhi)達到18MΩ·cm以上。

　　6、終(zhong)端超濾：能有效地去除水中(zhong)的(de)微粒、膠體(ti)、細菌、熱源和有機物力。是整套系統最(zui)后的(de)防火墻，確(que)保產(chan)出的(de)高純水不受二(er)次污染(ran)。

科海思根據業主(zhu)具體需求(qiu)，結合項目(mu)整體實際情況，采用(yong)EDI+超純水(shui)拋光(guang)樹脂(zhi)工藝(yi)，靈活運用(yong)離(li)(li)子交換(huan)技(ji)術，利用(yong)兩端電(dian)極高(gao)壓使水(shui)中帶電(dian)離(li)(li)子移動，并配合離(li)(li)子交換(huan)樹脂(zhi)加速離(li)(li)子移動去除，達到水(shui)純化(hua)的目(mu)的。

在這個工(gong)藝流(liu)程中，經過離子(zi)(zi)交換出水(shui)水(shui)質的(de)高低主要取決(jue)于離子(zi)(zi)交換樹脂的(de)質量和交換柱內水(shui)與(yu)樹脂的(de)交換效率。

科(ke)海思采用(yong)超純水(shui)(shui)拋光(guang)樹脂MB-106UP，它(ta)是由(you)核(he)子級強酸(suan)型陽離(li)子Tulsimer ?  T-46Li 及(ji)核(he)子級強堿(jian)型陰離(li)子 Tulsimer ?  A-33OH 以(yi)1:2 體積比(bi)的劑量比(bi)例 , 預先混(hun)合的混(hun)床級離(li)子交(jiao)換(huan)樹脂,專(zhuan)門(men)提供給超純水(shui)(shui)系(xi)統拋光(guang)用(yong)。它(ta)具有(you)交(jiao)換(huan)容量及(ji)優越(yue)的物理(li)特性。

整個項目單罐(guan)運行(xing)，出水電導率做到了(le)18MΩ以上，并(bing)且運行(xing)效果非常穩定。

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